懸浮氣態汙染物控制


上羽針對半導體、電子、化工產業中的AMC 問題,提出改善方案與問題解決。


AMC是氣體性分子汙染物,隨著製程的緊縮,28nm以下的製程,對於AMC的防範標準更為嚴格。傳統的檢測通常僅針對酸、鹼物質,而在現今的檢測項目上,延伸至有機的物質。

SEMI 對於AMC的控制有四大項目:MA(酸蒸氣)、MB(鹼蒸氣)、MC(凝結物質)及MD(摻雜物質),而這四種物質會透過外氣或者是廠區內本身的揮發物,對產品進行損害及影響,因此在製程微縮的時代,AMC的控制更為重要。